Halbleitertechnik

Halbtleitertechnik

Halbleitertechnik

Wir entwickeln und fertigen Systemlösungen für die Halbleiterindustrie unter Berücksichtigung der speziellen Anforderungen im Reinraum. Neben Standardprodukten werden auch kundenspezifische Handlingsaufgaben gelöst. Aktuell haben wir hunderte Systeme erfolgreich am Markt platziert. Unsere Lösungen erarbeiten wir dabei immer in enger Abstimmung mit dem Kunden. Qualität, Funktion und Wirtschaftlichkeit stehen dabei im Focus.

Halbleitersystemtechnik - Wafer Handling und Prüfung
Wafer Handling und Prüfung

RK Duoline Clean – Linearachsen für den Reinraumeinsatz

RK Rose+Krieger optimierte seine Profil-Lineareinheit RK Duoline für den Einsatz in Reinräumen und bietet spindel- und zahnriemengetriebene RK Duoline Clean-Lineareinheiten mit oder ohne Unterdruckanschluss in den gängigen Baugrößen 60 und 80 an. Insgesamt acht verschiedenen Varianten wurden erfolgreich nach EN ISO 14644-1 getestet und erhielten die Zertifizierung für Reinräume der weltweit gültigen Klassen 1 (RK Duoline Clean 60 SU mit Unterdruckanschluss bei 0,5 m/s) bis 5 (RK Duoline Clean 80 Z ohne Unterdruckanschlussbei 0,5 m/s). Sämtliche dazu erforderlichen Tests zum Nachweis der Reinraumtauglichkeit wurden im Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA in Stuttgart durchgeführt.

Zu den Branchen, in denen die Reinraumproduktion ein wichtiger Bestandteil der Fertigungsprozesse ist, zählen unter anderem Halbleiterindustrie, Photovoltaik, Mikroelektronik, Luft-und Raumfahrttechnik sowie Automobilindustrie. Dabei variieren die jeweils geforderten Reinraumklassen.

Prospekt RK DuoLine clean

Multilift II clean, die Hubsäule für den Reinraumbereich

Die Anforderung unter reinen Bedingungen Produkte zu fertigen und zu produzieren gewinnt in diversen Branchen zunehmend an Bedeutung. Insbesondere von Betriebsmitteln in Reinräumen wird gefordert, dass sie sich durch eine minimale Partikelemission auszeichnen. Selbst kleinste Partikel können zu Kontaminationen von Produkten und somit z.B. zu Fehlfunktionen führen. Trotz steigendem Automatisierungsgrad der einzelnen Prozessschritte, werden unzählige Fertigungstätigkeiten von Mitarbeiten durchgeführt, die je nach Tätigkeit auch im Reinraum ergonomisch ausgerichtete Arbeitsplätzen benötigen. Elektrisch verfahrbare Hubsäulen leisten hierbei einen wesentlichen Beitrag.

Daher optimierte RK Rose+Krieger den eingesetzten Antrieb seiner Multilift II Hubsäule, um den Partikelausstoß der Hubsäule auf ein reinraumtaugliches Minimum zu reduzieren.

Den Nachweis der Reinraumtauglichkeit dieser Hubsäule erbrachte ein Partikelemissionstest nach DIN EN ISO 14644-1, den das Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA durchführte. Im Ergebnis zertifizierte das IPA die Hubsäule für den Einsatz in Reinräumen bis zur weltweit gültigen Klasse 4.

Prospekt Mulitilift II